Gaz Akış Kontrolörü Ürün Grupları
MCV/SFF Vakumlu Kontrolör
Vakumlu Gaz Akış Kontrolörleri
Alt Atmosfer Akış Sistemleri için Kütle Akış Kontrolörleri
Vakum kütle akış kontrolörleri, CVD, ALD, PVD ve kaplama gibi vakum proseslerine kolayca uyum sağlayacak ve çalışacak şekilde önceden yapılandırılmıştır. Bu cihazlar gaz akışını 0,5 SCCM tam ölçekten 20 SLPM tam ölçeğe kadar ölçer ve kontrol eder.
- 30 ms kadar düşük ultra hızlı tepki süresi
- 130'a kadar önceden yüklenmiş gaz kalibrasyonu — daha az yedek: doğruluktan ödün vermeden geçiş yapın
- Daha az birim kullanın: %0,01 – %100 kadar yüksek ölçüm ve kontrol aralığı (10.000:1 düşüş)
- Okuma doğruluğunun ± %0,4'ü ve tam ölçeğin ± %0,2'si kadar iyi doğruluk
- Laminar diferansiyel basınç (DP) kütle akış ölçüm teknolojisi
- Kütle akışını, hacimsel akışı, sıcaklığı ve basıncı ölçer
- Sınırlı Ömür Boyu Garanti
Tam Ölçekli Akış Aralıkları
0,5 SCCM – 20 SLPM
ÇALIŞMA BASINÇ ARALIĞI
11,5 – 160 PSIA
MCV Serisi Kontrolör
Vakum kütle akış kontrolörleri
Pnömatik kapatma vanası
- 0,5 SCCM – 20 SLPM seçeneği
- Tam ölçeğin %0,01 - %100'ü (10.000:1 düşüş oranı)
- Okuma değerinin ± %0,5'i veya tam ölçeğin ± %0,1'i kadar doğruluk (hangisi daha büyükse)
- 98 önceden yüklenmiş seçilebilir gaz kalibrasyonu
- Entegre pnömatik valf
- Pnömatik valf sızıntı bütünlüğü: 1 x 10 -9 atm-cc/sn helyum maks.
- Tekrarlanabilirlik ± (0,1% okuma + 0,02% tam ölçek) kadar iyi
Teknik Özellikler Sayfaları
SFF Serisi Kontrolör
SEMI form faktörü ile vakum basınçlarında gaz kontrolü
YARI standart ayak izi
- 0,5 SCCM'den 20 SLPM'ye kadar tam ölçek aralıkları
- Tam ölçeğin %0,01 - %100'ü (10.000:1 düşüş oranı)
- Okuma değerinin ± %0,5'i veya tam ölçeğin ± %0,1'i kadar doğruluk (hangisi daha büyükse)
- 98 önceden yüklenmiş seçilebilir gaz kalibrasyonu
- -10°C ila +60°C çalışma sıcaklığı
- Daha az sızdırmazlık yüzeyi için işlenmiş bağlantı parçaları
- MCE Serisi kontrolörlerin yerini alır
Teknik Özellikler Sayfaları
MCES Serisi Kontrolör
Yarı form faktörü vakumda gazın korozyona dayanıklı kontrolü
Korozyona dayanıklı SEMI ayak izi
- 0,5 SCCM'den 20 SLPM'ye kadar tam ölçek aralıkları
- Tam ölçeğin %0,01 - %100'ü (10.000:1 düşüş oranı)
- Doğruluk ± (0,4% okuma + 0,2% tam ölçek) kadar iyi
- 128+ önceden yüklenmiş seçilebilir gaz kalibrasyonu
- Tekrarlanabilirlik: Tam ölçeğin ± %0,2'si
- Çalışma sıcaklığı: -10°C ila +60°C
Teknik Özellikler Sayfaları
MCVS Serisi Kontrolör
Korozyona dayanıklı vakum kütle akış kontrolörleri
Kapatma vanası ile korozyona dayanıklı
- 0,5 SCCM'den 20 SLPM'ye kadar tam ölçek aralıkları
- Tam ölçekli sabit durum kontrol aralığının %1 – %100'ü
- Okuma doğruluğunun ± %0,4'ü ve tam ölçeğin ± %0,2'si kadar iyi doğruluk
- Uyumlu gazlar: 128+ önceden yüklenmiş seçilebilir gaz kalibrasyonu
- Pnömatik valf sızıntı bütünlüğü: 1 x 10 -9 atm-cc/sn helyum maks.
- Tam ölçekli tekrarlanabilirliğin ± %0,2'si
Teknik Özellikler Sayfaları
Opsiyonlar
İletişim Protokolleri
RS-232 Seri (varsayılan)
RS-485 Seri
Analog (4-20 mA, 0-10 Vdc, 0-5 Vdc veya 1-5 Vdc)
Modbus RTU (RS-232 veya RS-485 üzerinden)
Modbus TCP/IP
DeviceNet
EtherCAT
EtherNet/IP
PROFIBUS
PROFINET
IO-Link
RS-485 Seri
Analog (4-20 mA, 0-10 Vdc, 0-5 Vdc veya 1-5 Vdc)
Modbus RTU (RS-232 veya RS-485 üzerinden)
Modbus TCP/IP
DeviceNet
EtherCAT
EtherNet/IP
PROFIBUS
PROFINET
IO-Link
Süreç Bağlantıları
Giriş Koruması
Tehlikeli Ortam Derecelendirmeleri
CSA Sınıf 1 Bölüm 2, ATEX Sınıf 1 Bölge 2 ; Legacy – 8v aygıt yazılımını (2020) kullanır
Patlayıcı ortamlar için IS-Max Serisine bakın
Patlayıcı ortamlar için IS-Max Serisine bakın
Etiketler#vakumlu gaz kontrolörü#gaz akış kontrolü#sıvı akış kontrolü#basınç kontrolü#alicat türkiye#alicat basınç kontrolü
İçerik 1 kez listelendi
