Gaz Akış Kontrolörü Ürün Grupları

BASIS BC Serisi | Kompakt Termal MEMS MFC'ler

BASIS™ Serisi Küçük Akış Kontrolörleri

OEM montajları için mükemmel kompakt MEMS Termal Kütle Akış Kontrolörleri

Bu kompakt kütle akış kontrolörleri, alan kısıtlamaları olan prosesler için birinci sınıf bir ürünün performansını sunar. Avucunuza sığarlar ancak uzun ömürlü olacak şekilde üretilirler. Kabinlerde ve muhafazalarda yerden tasarruf etmek için küçük ve hafiftirler, toplu alımlar için fiyatlandırılırlar, OEM kurulumları için mükemmeldirler.

Kompakt, dayanıklı, metal akış gövdesinde hassas akış kontrolü
Hızlı, sağlam bir Alicat ASCII komut seti kullanarak karmaşık akış kontrol betiklerini çalıştırın
Dahili toplamlayıcı ile dozları ve partileri dağıtın
9 gaz arasında geçiş yapın: Hava, N ₂ , O ₂ , CH ₄ , He, H ₂ , Ar, CO ₂ , N ₂ O
Tam ölçekli ölçüm ve kontrol aralığının %0,1 – 100'ü (1.000:1 düşüş)
Sınırlı Ömür Boyu Garanti

Tam Ölçekli Akış Aralıkları

100 SCCM – 100 SLPM

ÇALIŞMA BASINÇ ARALIĞI

0 – 145 PSIG

BASIS Serisi Kontrolör

Kompakt kütle akış kontrolörü

4,52” maksimum genişlik

Okuma değerinin %1,5'i veya tam ölçeğin %0,2'si kadar doğruluk (hangisi daha büyükse)
Entegre oransal kontrol vanası
100 ms kadar hızlı kontrol tepkisi
Kullanışlı durum LED'i
Kolay otomasyon

Teknik Özellikler Sayfaları