EDC-500 Serisi Kütle Akış Kontrol Cihazları ve Ölçüm Cihazları

Tam Ölçekli Akış Aralığı (3sccm-1000slm)

• Maksimum Basınç Değeri: 500 Psi / 30 Bar
• Tekrarlanabilirlik: ±0,2% FS
• Kontrol Aralığı:%1~100 FS
• Yanıt Süresi:<1 saniye
• Çalışma Sıcaklığı : 0~50℃
• Dijital İletişim : RS-485/DeviceNet
• Analog İletişim : 0~5 V / 4~20mA

 Metal Conta

 Yarıiletken

 Özelleştirilebilir Ürünler ve Çözümler

EDC-500 Serisi Kütle Akış Kontrol Cihazları ve Ölçüm Cihazlarının Tanımı

Önceki nesil gelişmiş “sıcaklık farkı otomatik dengeleme teknolojisi” sensörlerinin kullanımına ek olarak, EDC-500 serisi ayrıca ultra yüksek kararlılık ve doğruluk ölçüm sensörlerini hızlı, hassas kontrol vanaları ve güçlü elektronik bileşenlerle birleştirir. Birlikte hassas gaz proses kontrolü sağlarlar. Yüksek bütünlüklü ultra yüksek saflıkta tamamen metal akış yolu ve uzun vadeli etkili sızdırmazlık performansı, prosesin saflığını garanti eder. EDC-500 serisi, yarı iletken endüstrisi ve yüksek saflıkta gaz uygulamaları için çok uygundur.